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リニアサーボモータ (シャフトモータ、パラレルXYステージ)

2軸のシャフトモータをパラレル制御したXYステージです。
1台のアンプで2軸以上のシャフトモータを同期制御が可能です。リニアスケールも1つでOK。
シンプル制御で高精度、重量のある物の位置決めに効力を発揮します。


【特長】
高速性と耐久性 永久磁石と可動子は非接触、摩擦が無いので高速に動作でき耐久性は抜群
高精度 リニアエンコーダとの組合せにより位置決めができ、その分解能によって精度が決まるのでナノオーダの位置決めが実現できる
等速・低振動 可動子に磁性鉄心を使用していないので、シャフトとの間に吸着力がなく、コギング(細かい脈動)がない。低速度で振動が少なく非常に滑らかに動作する。さらに静止時の振動がきわめて少ない
簡単な構造 部品点数が少なくコンパクトな構造。取付け精度に気を使う部分がとても少ない
静粛性 非接触なのでとても静か
駆動方式 単軸駆動/マルチ駆動/パラレル駆動/タンデム駆動など多彩な組み合わせが可能


【主な仕様】
繰り返し位置決め精度 ±0.2μm以内
エンコーダ分解能 1μm