SCR150-200
シャフトモータS160採用 ストローク200mm
サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ。 優れた定速動作、 静止精度、 位置決め精度、高剛性でピエゾステージ代替も可能
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい。
なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ/精密部品加工・検査/レーザー加工/バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので、タクトアップも可能です。
仕様
ストローク長 | mm | 200 |
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ステージ長 | mm | 330 |
精度 | μm | 9 |
エンコーダ分解能 | μm | 1、 0.5、 0.1、0.05、 0.01、0.005 |
繰返し精度 | COUNT | ±1 |
最高加速度 | m/s2 | 11 |
最高速度 | m/s | 1.4 |
最大積載量 | kg | 45.5 |
可動部質量 | kg | 3.5 |
ステージ合計質量 | kg | 7.9 |
真直度/平面度※1 | μm | 2/25mm |
原点・リミットスイッチ | 非接触磁気リードスイッチ | |
原点スイッチ位置 | センター | |
シャフトモータオプション | S160D |