SCR150-200
シャフトモータS160採用 ストローク200mm
サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ｡ 優れた定速動作､ 静止精度､ 位置決め精度､高剛性でピエゾステージ代替も可能
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい｡
なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ／精密部品加工･検査／レーザー加工／バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので､タクトアップも可能です。
仕様
| ストローク長 | mm | 200 |
|---|---|---|
| ステージ長 | mm | 330 |
| 精度 | μm | 9 |
| エンコーダ分解能 | μm | 1､ 0.5､ 0.1､0.05､ 0.01､0.005 |
| 繰返し精度 | COUNT | ±1 |
| 最高加速度 | m/s2 | 11 |
| 最高速度 | m/s | 1.4 |
| 最大積載量 | kg | 45.5 |
| 可動部質量 | kg | 3.5 |
| ステージ合計質量 | kg | 7.9 |
| 真直度/平面度※1 | μm | 2/25mm |
| 原点・リミットスイッチ | 非接触磁気リードスイッチ | |
| 原点スイッチ位置 | センター | |
| シャフトモータオプション | S160D |
