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SCR150-250

シャフトモータS160採用 ストローク250mm

サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ。 優れた定速動作、 静止精度、 位置決め精度、高剛性でピエゾステージ代替も可能
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい。

なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ/精密部品加工・検査/レーザー加工/バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので、タクトアップも可能です。

仕様

ストローク長 mm 250
ステージ長 mm 380
精度 μm 11
エンコーダ分解能 μm 1、 0.5、 0.1、0.05、 0.01、0.005
繰返し精度 COUNT ±1
最高加速度 m/s2 9
最高速度 m/s 1.5
最大積載量 kg 45.5
可動部質量 kg 4.1
ステージ合計質量 kg 9.2
真直度/平面度※1 μm 2/25mm
原点・リミットスイッチ   非接触磁気リードスイッチ
原点スイッチ位置   センター
シャフトモータオプション   S160D
※1 ・・・ 誤差(μm) / 25mm移動毎

CADデータ


対応フォーマットはこちらをご覧ください。
※初めての方は、ユーザー登録が必要となります。

技術資料

2DCAD図面(PDF形式)
2DCAD図面(DXF形式)
※DXF形式は、個人情報の入力が必要です。
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