SCR-050-020

シャフトモーターS040採用 ストローク20mm

サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ。
優れた定速動作、 静止精度、 位置決め精度、高剛性でピエゾステージ代替も可能です。
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい。

なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ/精密部品加工・検査/レーザー加工/バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので、タクトアップも可能です。

仕様

ストローク長 mm 20
ステージ長 mm 75
エンコーダー分解能 μm 1、 0.5、 0.1、0.05、 0.01、0.005
繰返し精度 COUNT ±1
最高加速度 m/s2 20
最高速度 m/s 0.6
最大積載量 kg 10
可動部質量 kg 0.115
ステージ合計質量 kg 0.45
真直度/平面度※1 μm 2.5/25mm
原点・リミットスイッチ   非接触磁気リードスイッチ
原点スイッチ位置   センター
シャフトモーター型番   S040Q

※1 ・・・ 誤差(μm) / 25mm移動毎

外形図

SCR050シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最高速度 (m/s) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SCR-050-020 20 1~0.005 ±1 0.6 10 0.45
SCR-050-040 40 1~0.005 ±1 0.5 10 0.7

精密ステージ(SCR)ラインアップ

精密ステージ(SCRシリーズ)ラインナップ