SCR-050-020

シャフトモーターS040採用　ストローク20mm

サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ｡
優れた定速動作､ 静止精度､ 位置決め精度､高剛性でピエゾステージ代替も可能です。
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい｡

なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ／精密部品加工･検査／レーザー加工／バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので､タクトアップも可能です。

仕様

ストローク長	mm	20
ステージ長	mm	75
エンコーダー分解能	μm	1､ 0.5､ 0.1､0.05､ 0.01､0.005
繰返し精度	COUNT	±1
最高加速度	m/s2	20
最高速度	m/s	0.6
最大積載量※1	kg	10
可動部質量	kg	0.115
ステージ合計質量	kg	0.45
真直度/平面度※2	μm	2.5/25mm
原点・リミットスイッチ		非接触磁気リードスイッチ
原点スイッチ位置		センター
シャフトモーター型番		S040Q

※1 ･･･ リニアガイドの耐荷重値（動作条件によって制限があります。詳しくはお問合せください。）
※2 ･･･ 誤差(μm) ／ 25mm移動毎

外形図