シャフトモーターS080採用 ストローク150mm
サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ｡
優れた定速動作､ 静止精度､ 位置決め精度､高剛性でピエゾステージ代替も可能です。
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい｡
なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ／精密部品加工･検査／レーザー加工／バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので､タクトアップも可能です。
仕様
| ストローク長 |
mm |
150 |
| ステージ長 |
mm |
240 |
| エンコーダー分解能 |
μm |
1､ 0.5､ 0.1､0.05､ 0.01､0.005 |
| 繰返し精度 |
COUNT |
±1 |
| 最高加速度 |
m/s2 |
10 |
| 最高速度 |
m/s |
1.2 |
| 最大積載量※1 |
kg |
45.5 |
| 可動部質量 |
kg |
1.3 |
| ステージ合計質量 |
kg |
2.6 |
| 真直度/平面度※2 |
μm |
2/25mm |
| 原点・リミットスイッチ |
|
非接触磁気リードスイッチ |
| 原点スイッチ位置 |
|
センター |
| シャフトモーター型番 |
|
S080Q |
※1 ･･･ リニアガイドの耐荷重値（動作条件によって制限があります。詳しくはお問合せください。）
※2 ･･･ 誤差(μm) ／ 25mm移動毎
外形図
精密ステージ（SCR）ラインアップ
SPSシリーズ
SCRシリーズ
| SCR050： |
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| SCR075： |
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| SCR100： |
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| SCR150： |
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