シャフトモーターS160採用 ストローク200mm
サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ｡
優れた定速動作､ 静止精度､ 位置決め精度､高剛性でピエゾステージ代替も可能です。
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい｡
なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ／精密部品加工･検査／レーザー加工／バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので､タクトアップも可能です。
仕様
| ストローク長 |
mm |
200 |
| ステージ長 |
mm |
330 |
| エンコーダー分解能 |
μm |
1､ 0.5､ 0.1､0.05､ 0.01､0.005 |
| 繰返し精度 |
COUNT |
±1 |
| 最高加速度 |
m/s2 |
11 |
| 最高速度 |
m/s |
1.4 |
| 最大積載量※1 |
kg |
45.5 |
| 可動部質量 |
kg |
3.5 |
| ステージ合計質量 |
kg |
7.9 |
| 真直度/平面度※2 |
μm |
2/25mm |
| 原点・リミットスイッチ |
|
非接触磁気リードスイッチ |
| 原点スイッチ位置 |
|
センター |
| シャフトモーター型番 |
|
S160D |
※1 ･･･ リニアガイドの耐荷重値（動作条件によって制限があります。詳しくはお問合せください。）
※2 ･･･ 誤差(μm) ／ 25mm移動毎
外形図
SCR150シリーズ
| 型番 |
ストローク長 (mm) |
分解能オプション (μm) |
繰返し精度 (count) |
最高速度 (m/s) |
最大積載量 (kg) |
合計質量 (kg) |
| SCR-150-100 |
100 |
1～0.005 |
±1 |
1.3 |
45.5 |
5.2 |
| SCR-150-150 |
150 |
1～0.005 |
±1 |
1.3 |
45.5 |
6.5 |
| SCR-150-200 |
200 |
1～0.005 |
±1 |
1.4 |
45.5 |
7.9 |
| SCR-150-250 |
250 |
1～0.005 |
±1 |
1.5 |
45.5 |
9.2 |
| SCR-150-300 |
300 |
1～0.005 |
±1 |
1.5 |
45.5 |
10.6 |
精密ステージ（SCR）ラインアップ
SPSシリーズ
SCRシリーズ
| SCR050： |
|
| SCR075： |
|
| SCR100： |
|
| SCR150： |
|
