SCR-150-250

シャフトモーターS160採用 ストローク250mm

サブミクロン単位の超低速動作も可能なリニアステージ。
優れた定速動作、 静止精度、 位置決め精度、高剛性でピエゾステージ代替も可能です。
カスタムステージも対応致しますのでお問合せ下さい。

なめらかな動作と高剛性で光学走査(スキャニング)ステージ/精密部品加工・検査/レーザー加工/バイオ関連機器などに検討頂けます。高速性もありますので、タクトアップも可能です。

仕様

ストローク長 mm 250
ステージ長 mm 380
エンコーダー分解能 μm 1、 0.5、 0.1、0.05、 0.01、0.005
繰返し精度 COUNT ±1
最高加速度 m/s2 9
最高速度 m/s 1.5
最大積載量 kg 45.5
可動部質量 kg 4.1
ステージ合計質量 kg 9.2
真直度/平面度※1 μm 2/25mm
原点・リミットスイッチ   非接触磁気リードスイッチ
原点スイッチ位置   センター
シャフトモーター型番   S160D

※1 ・・・ 誤差(μm) / 25mm移動毎

外形図

SCR150シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最高速度 (m/s) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SCR-150-100 100 1~0.005 ±1 1.3 45.5 5.2
SCR-150-150 150 1~0.005 ±1 1.3 45.5 6.5
SCR-150-200 200 1~0.005 ±1 1.4 45.5 7.9
SCR-150-250 250 1~0.005 ±1 1.5 45.5 9.2
SCR-150-300 300 1~0.005 ±1 1.5 45.5 10.6

精密ステージ(SCR)ラインアップ

精密ステージ(SCRシリーズ)ラインナップ