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シャフトモータステージ

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。(重ねてXYステージとして使用可能)
アクチュエータとしてシャフトモータを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
エンコーダの分解能は1µm~0.005µmが選択可能です。
超低速~高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。

別途サーボドライバが必要です。原点リミットセンサ付。

シャフトモータ特集

製品ラインナップ

仕様比較

シリーズ名 ストローク (mm) ステージサイズ (奥行×幅mm) 分解能オプション (μm) 使用モータ
SCR050シリーズ 20 / 40 75×75 / 95 1~0.005 S040Q
SCR075シリーズ 50~150(50mm間隔) 75×140~240(50mm間隔) 1~0.005 S080Q
SCR100シリーズ 50~300(50mm間隔) 100×140~390(50mm間隔) 1~0.005 S080Q
SCR150シリーズ 100~300(50mm間隔) 150×230~430(50mm間隔) 1~0.005 S160D