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動画ライブラリ

製品のデモンストレーションを動画でご覧いただけます。

リニアシャフトモータ精密ステージ



●特徴
・高精度・超低振動のリニアシャフトモータを使用
・オープンフレーム構造
・XY移動量±75mmストローク
・位置決め分解能0.1μm
・高速制御可能(最高速度200mm/sec)
・優れた静音性
・タイリング時の張り合わせも高精度に実現
・小型コントローラドライバFMAX-4X-2SDをご用意

シャフトモータ構成例



シャフトモータ組上げについての一例です。

必要な部品はシャフトモータ本体、リニアガイド、リニアエンコーダ、取付ブラケット類、ケーブルキャリアなどになります。
シャフト及び可動子をブラケットなどで機構に固定することで、シャフトと可動子内側のエアギャップを保持します。

リニアステップ部品削減比較



回転型モータをリニアステップに変更することにより、軸受けやカップリングなどの部品点数削減と設計及び取り付け工数の低減によりコストダウンが見込めます。またコンパクトになることでスペース確保にも有利となります。

ギヤ付PM型ステッピングモータ



外形Φ20、φ25、φ30のPM型ステッピングモータにギヤを取り付け一体型にしました。細かい分解能、高いトルクが必要な場合に豊富な減速比(6/25~1/300)で対応いたします。

PM型リニアステップ



PM型リニアステップ(PFL/PFCLシリーズ)は、2相PM型ステッピングモータの回転駆動を直線駆動に変換する機構をモータ本体に内蔵したステッピングモータです。小型化/小スペース化のご要望にお応えするためモータ径、ストローク、分解能など豊富なラインナップを取り揃えております。

PM型リニアステップ、キャプティブタイプ



PM型リニアステップ キャプティブタイプは、回り止め機構をモータ本体に内蔵したPM型リニアステップです。外部に回り止め機構が不要なためコンパクトに取り付けられます。
デモ動画ではキャプティブタイプ(左)と従来のリニアステップ(右)の2機種を設置しておりますので、取り付け構造の違いがご覧になれます。

HB型リニアステップ



HB型リニアステップ(PJPLシリーズ)は、回転運動を直線運動に変換する機構をモータ本体に内蔵した直動型ステッピングモータです。分解能が0.005mmなのでPM型リニアステップより細かい動作が可能です。
デモ動画では基板上のLSIをマイクロスコープを使って拡大しモニタに映し出しています。

シャフトモータ NPROBO



NPROBOは、高速・高効率・高精度位置決めが可能なリニアサーボアクチュエータです。
動作原理はステンレスパイプに円筒状の磁石を入れたシャフト部と、シャフトを取り囲む黒いアルミ筐体のコイル部で構成され、コイル部に電流を流すことで磁界が発生し直線駆動します。
コアレスタイプシャフトモータは、コギング(細かい脈動)が無く、高速・等速性・応答性能が優れているところが大きな特長です。

シャフトモータ SCRナノポジショニングシリーズ



SCRナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合わせ持つ高精度リニアステージです。
駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しています。
ガイドにはクロスローラガイドを採用、またムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性・耐久性をアップしています。

シャフトモータ 精密XYステージ



XYステージは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合わせ持つ高精度リニアステージです。
駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しています。
ガイドにはクロスローラガイドを採用、またムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性・耐久性をアップしています。
移動中の振動、停止時の振動が極めて少なく顕微鏡・マイクロスコープ用途には最適です。

シャフトモータ パラレルXYステージ



2軸のシャフトモータをパラレル制御したXYステージです。
1台のアンプで2軸以上のシャフトモータを同期制御が可能です。リニアスケールも1つでOK。
シンプル制御で高精度、重量のある物の位置決めに効力を発揮します。

スケールレスシャフトモータ



リニアスケールの代わりに内蔵式磁気センサーを使用したシャフトモータです。
従来は外部のリニアエンコーダと組み合せリニアサーボ化していましたが、このスケールレスシャフトモータは、可動子内に内蔵した磁気センサーがシャフト内の磁界を検出し位置決めを行います。
外付けエンコーダが不要になりコストパフォーマンスに優れ、メカ設計の簡易化、省スペース化が図れ、内蔵式磁気センサーなので汚れにも強い特長を持っています。
 

省配線システム (Motionnet)



省配線システム「Motionnet」は、当社が独自に開発した7種類のLSIをRS-485インターフェースを使用し独自のプロトコルによって制御するフィールドバスです。FA 分野に求められている入I/O制御、モータ制御はもちろんのこと高速性を生かしたCPU エミュレーション、メッセージ通信までリモート操作できます。