シャフトモーター 圧力制御ユニット

 

超低圧から高精度で圧力制御可能です。小型DDモーターを使用して下段部機構物を高分解能で整列させています。

特長

  • 0.05Nの誤差で精密加圧制御 (5g)(本デモ機)
  • 電流による加圧の変化が一定線形に変化
  • 分解能 0.001 ~ 0.05μmの高位置決め精度
  • シャフトモーターの種類により加圧変更可能
  • DDモーターを使用して下段部機構物の高精度な回転制御可能(108,000 CPR)

製品構成

シャフトモーター:S250SS (シャフト 25mmΦ)
ドライバー  :Panasonic MINAS A6L
エンコーダー :Renishaw Resolute Absolute 0.05μm
       :Panasonic Serial Protocol
DDモーター  :MDS/MDH-3018-108KE

製品リンク