超低圧から高精度で圧力制御可能です。小型DDモーターを使用して下段部機構物を高分解能で整列させています。
特長
- 0.05Nの誤差で精密加圧制御 (5g)（本デモ機）
- 電流による加圧の変化が一定線形に変化
- 分解能 0.001 ～ 0.05μmの高位置決め精度
- シャフトモーターの種類により加圧変更可能
- DDモーターを使用して下段部機構物の高精度な回転制御可能(108,000 CPR)
製品構成
シャフトモーター：S250SS (シャフト 25mmΦ)
ドライバー ：Panasonic MINAS A6L
エンコーダー ：Renishaw Resolute Absolute 0.05μm
：Panasonic Serial Protocol
DDモーター ：MDS/MDH-3018-108KE