ナノポジショニング精密ステージ SPSシリーズ

SPSナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合せ持つ高精度リニアシャフトモーターステージです｡

駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており､コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しております｡

ガイドにはクロスローラガイドを採用｡また､ムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性･耐久性をアップしています｡

シャフトモータは摩擦がないため、騒音や埃もなくモータメンテナンスも不要です。