シャフトモーター アライメントステージ / UVWステージ

 

シャフトモーター 4軸を利用した高精度制御アライメントステージです。X, Y軸直線動作及びθ動作可能となります。

直径25mmのシャフトモーターで構成 (S250DS モデル)しています。各軸 0.001um(1nm)の高分解能リニアスケールを使用することで、0.1um以下の繰り返し精度を実現させています。(X軸 ±0.078μm, Y軸 ±0.049μm)

NPMの PCL6045BL(LSI)使った独立制御ボードとPanasonicドライバーを組み合わせて制御させています。

シャフトモーターの特長

  • 高速動作 (タクトアップ)
  • 高精度位置決め (フルクローズド制御)
  • 圧倒的な速度安定性
  • 高速整定 (ハイレスポンス)
  • 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい
  • 1本のシャフトでマルチ駆動可能
  • 1台のドライバで複数の同期パラレル駆動が可能
  • 非接触型のモータなので、耐久性が優れている (保守費用の軽減)
  • 低発塵
  • 水・油・コンタミ・粉塵などの悪環境にも使用可能
  • 音が大変静か

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