シャフトモーター 精密ステージ

 

特長

  • 高精度
  • 超低振動のリニアシャフトモータを使用
  • オープンフレーム構造
  • XY移動量±75mmストローク
  • 位置決め分解能0.1μm
  • 高速制御可能(最高速度200mm/sec)
  • 優れた静音性
  • タイリング時の張り合わせも高精度に実現
  • 小型コントローラドライバFMAX-4X-2SDをご用意