シャフトモーター 高速精密ステージ

 

シャフトモーター(S160D)パラレル同期駆動で安定した直進性を実現しました。

特長

  • シャフトモーター(S160D)パラレル同期駆動で安定した直進性
  • クロスローラー採用により高精度・速度安定性を実現
  • 低速~高速まで広い範囲の速度に対応
  • 分解能0.5μm光学リニアエンコーダ—採用

用途

  • レーザー加工
  • 速度安定性を求めるセンサー制御
  • 光学系検査装置

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