シャフトモーター　高速精密ステージ

シャフトモーター（S160D）パラレル同期駆動で安定した直進性を実現しました。

特長

• シャフトモーター（S160D）パラレル同期駆動で安定した直進性
• クロスローラー採用により高精度・速度安定性を実現
• 低速～高速まで広い範囲の速度に対応
• 分解能0.5μm光学リニアエンコーダ—採用

用途

• レーザー加工
• 速度安定性を求めるセンサー制御
• 光学系検査装置

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