シャフトモーター 薄型顕微鏡XYステージ

 

リニアシャフトモータの採用により、高精度・超低振動な超薄型(30mm)XYステージを実現しました。

特長

  • 超薄型ステージ厚30mm
  • オープンフレーム構造
  • XY移動量45/30mmストローク
  • コントローラFMAX-4X-2Dでジョイスティック操作も可能
  • 位置決め分解能0.05μm
  • 高速制御可能 最高速度200mm/sec(4Mpps時)
  • 優れた静音性
  • タイリング時の張り合わせも高精度に実現

シャフトモーターの特長

  • 高速動作 (タクトアップ)
  • 高精度位置決め (フルクローズド制御)
  • 圧倒的な速度安定性
  • 高速整定 (ハイレスポンス)
  • 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい
  • 1本のシャフトでマルチ駆動可能
  • 1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が可能
  • 非接触型のモーターなので、耐久性が優れている (保守費用の軽減)
  • 低発塵
  • 水・油・コンタミ・粉塵などの悪環境にも使用可能

製品リンク