SPS100TD-150

シャフトモーターSX100採用 ストローク150mm

SPSナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合せ持つ高精度リニアシャフトモーターステージです。

駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しております。

ガイドにはクロスローラガイドを採用。 また、ムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性・耐久性をアップしています。

シャフトモータは摩擦がないため、騒音や埃もなくモータメンテナンスも不要です。

仕様

有効ストローク mm 150(±75)
リミットストローク mm 151(±75.5)
メカエンドストローク mm 152(±76)
使用モーター   SX100T-DC-X0
ドライバ入力電圧 vdc 24~48
定格推力/電流 N/Arms 6.8N/1.1Arms
加速推力/電流 N/Arms 27N/4.3Arms
案内方式   クロスローラーガイド(ガイドズレ防止機能付き)
エンコーダ分解能 μm インクリメンタル 1/0.5/0.1/0.05/0.025/0.01/0.005/0.0025
アブソリュート 0.01/0.005
エンコーダ出力信号   インクリメンタルAB相/アブソリュートシリアル(Panasonic)
原点センサ   原点中央付近、±リミット(インクリメンタルAB相のみ)
ステージ寸法  mm 240×107×26
モーター/エンコーダケーブル長 mm 1000
可動部質量 Kg 0.93
ステージ質量(ケーブル含まず) Kg 1.7
可搬重量 ※1 N 300  (30kgf)
繰返し精度  ※2 μm ≦±0.3
真直度/平面度 ※3  μm ≦2/25mm

※1 ・・・ リニアガイドの耐荷重値(動作条件によって制限があります。詳しくは当社へご確認下さい。)
※2 ・・・ 0.1μm分解能エンコーダ使用時の参考データ
※3 ・・・ 誤差(μm) / 25mm移動毎の最大誤差

外形図

SPS100シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SPS100TD-050 50 1~0.0025 ±0.3 30 0.97
SPS100TD-100 100 1~0.0025 ±0.3 30 1.33
SPS100TD-150 150 1~0.0025 ±0.3 30 1.7