精密ステージ(SCR)

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。(重ねてXYステージとして使用可能)
アクチュエータとしてシャフトモータを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
エンコーダの分解能は1µm~0.005µmが選択可能です。
超低速~高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。

別途サーボドライバが必要です。原点リミットセンサ付。

精密ステージ(SCR)ラインアップ

精密ステージ(SCRシリーズ)ラインナップ