精密ステージ（SPS/SCRシリーズ）

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。
アクチュエーターとしてシャフトモーターを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
超低速～高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。

精密ステージ（SPS/SCRシリーズ）ラインアップ

SPSシリーズは厚さ26mmの低姿勢、低重心、省スペースに対応したステージです。
専用ブラケットを取り付ける事で、シャフトモーターを２つ使用したパラレル駆動で推力アップが可能となりました。
エンコーダはインクリメンタル・アブソリュートの選択が可能です。

型番	ストローク長 (mm)	分解能オプション (μm)	繰返し精度 (count)	最大積載量 (kg)	合計質量 (kg)
SPS100TD-050	50	1～0.0025	±0.3	30	0.97
SPS100TD-100	100	1～0.0025	±0.3	30	1.33
SPS100TD-150	150	1～0.0025	±0.3	30	1.7

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。(重ねてXYステージとして使用可能)
エンコーダーの分解能は1µm～0.005µmが選択可能。

型番	ストローク長 (mm)	分解能オプション (μm)	繰返し精度 (count)	最高速度 (m/s)	最大積載量 (kg)	合計質量 (kg)
SCR-050-020	20	1～0.005	±1	0.6	10	0.45
SCR-050-040	40	1～0.005	±1	0.5	10	0.7

型番	ストローク長 (mm)	分解能オプション (μm)	繰返し精度 (count)	最高速度 (m/s)	最大積載量 (kg)	合計質量 (kg)
SCR-075-050	50	1～0.005	±1	1.1	45.5	1.0
SCR-075-100	100	1～0.005	±1	1.4	45.5	1.3
SCR-075-150	150	1～0.005	±1	1.5	45.5	1.7

型番	ストローク長 (mm)	分解能オプション (μm)	繰返し精度 (count)	最高速度 (m/s)	最大積載量 (kg)	合計質量 (kg)
SCR-100-050	50	1～0.005	±1	0.9	45.5	1.6
SCR-100-100	100	1～0.005	±1	1.0	45.5	2.1
SCR-100-150	150	1～0.005	±1	1.2	45.5	2.6
SCR-100-200	200	1～0.005	±1	1.2	45.5	3.2
SCR-100-250	250	1～0.005	±1	1.3	45.5	3.9
SCR-100-300	300	1～0.005	±1	1.3	45.5	4.5

型番	ストローク長 (mm)	分解能オプション (μm)	繰返し精度 (count)	最高速度 (m/s)	最大積載量 (kg)	合計質量 (kg)
SCR-150-100	100	1～0.005	±1	1.3	45.5	5.2
SCR-150-150	150	1～0.005	±1	1.3	45.5	6.5
SCR-150-200	200	1～0.005	±1	1.4	45.5	7.9
SCR-150-250	250	1～0.005	±1	1.5	45.5	9.2
SCR-150-300	300	1～0.005	±1	1.5	45.5	10.6