精密ステージ(SCR)

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。(重ねてXYステージとして使用可能)
アクチュエーターとしてシャフトモーターを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
エンコーダーの分解能は1µm~0.005µmが選択可能です。
超低速~高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。

別途サーボドライバーが必要です。原点リミットセンサー付。

精密ステージ(SCR)ラインアップ

精密ステージ(SCRシリーズ)ラインナップ

クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。(重ねてXYステージとして使用可能)

SCR050シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最高速度 (m/s) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SCR-050-020 20 1~0.005 ±1 0.6 10 0.45
SCR-050-040 40 1~0.005 ±1 0.5 10 0.7

SCR075シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最高速度 (m/s) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SCR-075-050 50 1~0.005 ±1 1.1 45.5 1.0
SCR-075-100 100 1~0.005 ±1 1.4 45.5 1.3
SCR-075-150 150 1~0.005 ±1 1.5 45.5 1.7

SCR100シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最高速度 (m/s) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SCR-100-050 50 1~0.005 ±1 0.9 45.5 1.6
SCR-100-100 100 1~0.005 ±1 1.0 45.5 2.1
SCR-100-150 150 1~0.005 ±1 1.2 45.5 2.6
SCR-100-200 200 1~0.005 ±1 1.2 45.5 3.2
SCR-100-250 250 1~0.005 ±1 1.3 45.5 3.9
SCR-100-300 300 1~0.005 ±1 1.3 45.5 4.5

SCR150シリーズ

型番 ストローク長 (mm) 分解能オプション (μm) 繰返し精度 (count) 最高速度 (m/s) 最大積載量 (kg) 合計質量 (kg)
SCR-150-100 100 1~0.005 ±1 1.3 45.5 5.2
SCR-150-150 150 1~0.005 ±1 1.3 45.5 6.5
SCR-150-200 200 1~0.005 ±1 1.4 45.5 7.9
SCR-150-250 250 1~0.005 ±1 1.5 45.5 9.2
SCR-150-300 300 1~0.005 ±1 1.5 45.5 10.6